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【中玻網(wǎng)】德國特種玻璃廠商肖特(SCHOTT)將在日本市場推出光敏玻璃“FOTURANII”,該產(chǎn)品可在紫外線照射下結(jié)晶化,可用做半導(dǎo)體及生物技術(shù)領(lǐng)域的玻璃基板。
在紫外線照射下,玻璃本身會發(fā)生變質(zhì),再經(jīng)過熱處理就會結(jié)晶化(陶瓷化),成為光敏玻璃。無需使用光刻膠,只用氫氟酸即可僅蝕刻結(jié)晶化的部分。肖特新產(chǎn)品的特點是,玻璃部與陶瓷部的蝕刻選擇比高達30:1,容易加工。
使用光刻膠蝕刻普通玻璃時,蝕刻會向各向同性發(fā)展,因此很難實現(xiàn)高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結(jié)晶化的部分,從原理上來說沒有深寬比限制,因此能夠?qū)崿F(xiàn)20~30μm的微細圖案加工。
曝光時推薦使用波長320nm的紫外線,可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線激光器時掃描耗費時間,但不需要掩模。而且,利用激光的焦點,還可實現(xiàn)玻璃基板內(nèi)部的隧道結(jié)構(gòu)(橫孔)等復(fù)雜的立體結(jié)構(gòu),而使用以往蝕刻技術(shù)時必須要層疊玻璃才能實現(xiàn)。實際上,目前已有客戶瞄準微流體展開制造,因此有望成為無需掩模即可制造少量生產(chǎn)的MEMS等的手段。
新產(chǎn)品在晶圓狀時能夠以非常大300mm(12英寸)的尺寸供應(yīng),在片狀時能以非常大200mm見方的尺寸供應(yīng)。
除此之外,肖特還在日本展出用于創(chuàng)意家電等的光敏玻璃(玻璃陶瓷),以及已開始在智能手機指紋傳感器蓋板中采用的超薄板玻璃等產(chǎn)品。
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