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東大開發(fā)在玻璃基板上濺射層積LED的技術(shù)

來源:技術(shù)在線 2014/6/25 11:58:20

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中玻網(wǎng)】東京大學生產(chǎn)技術(shù)研究所教授藤岡洋的研究室2014年6月23日宣布,開發(fā)出了在玻璃基板上用濺射法形成GaN基LED的技術(shù)。相關(guān)論文已發(fā)表在學術(shù)雜志《ScientificReports》上。除了與現(xiàn)有LED相比可大幅降低制造成本之外,新技術(shù)還有可能實現(xiàn)用無機LED制作農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系EL那樣的大面積發(fā)光元件。  

    藤岡教授的研究室在約2英寸(直徑約5cm)的玻璃基板上轉(zhuǎn)印了石墨烯多層膜,然后在石墨烯多層膜上用脈沖濺射法分別形成了AlN、n型GaN、由GaN與InGaN的多層構(gòu)造構(gòu)成的量子阱、p型GaN晶體。  

    藤岡表示,很早以前就開始開發(fā)利用濺射法制作LED的技術(shù),“還沒有發(fā)布過這些技術(shù)的詳細內(nèi)容,只是在累積經(jīng)驗”。  

    另外,藤岡研究室還在2008年開發(fā)出了在石墨片材上用“脈沖激勵沉積法(PXD)”形成GaN晶體的技術(shù)。  

    此次在可稱得上是較薄石墨片材的石墨烯片材上用濺射法形成了GaN晶體,并確認可實際發(fā)光。據(jù)介紹,分別制作了以紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)三原色發(fā)光的LED。  

    目前還無法檢驗白色發(fā)光的發(fā)光效率,以及單色狀態(tài)下的外部量子效率,正在對較低溫條件下的內(nèi)部量子效率進行評估。藤岡教授表示,“與藍寶石基板上制作的LED相比,內(nèi)部量子效率要低好幾成”。今后的課題是如何將內(nèi)部量子效率提高至與現(xiàn)有LED相當?shù)乃健?/p>

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